※ 本文為 MindOcean 轉寄自 ptt.cc 更新時間: 2014-10-19 16:52:11
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作者 標題 [情報] 2016年10nm節點啟用EUV製程，Intel搶頭香
時間 Sun Oct 19 12:08:54 2014
Intel今年已經開始量產14nm製程，下一代製程將是10nm，Intel原本計劃在2015年底開始
投產10nm製程。隨著半導體製程進入10nm內，新一代EUV光刻設備也愈加重要，這還要看荷蘭ASML公司的研發進度了。日前該公司公佈了Q3財報，其中提到他們將在2016年10nm製
程節點上正式啟用EUV光刻製程，首個客戶普遍認為是Intel公司。
2016年10nm節點啟用EUV製程，Intel搶頭香
http://i.imgur.com/LpPRxZp.png
![[圖]](http://i.imgur.com/LpPRxZp.png)
荷蘭ASML公司是全球最大的半導體裝備製造公司，他們兩年前推出了試驗型EUV光刻設備
NXE:3100，量產型則是NEX:3300B，該設備每天的晶圓產能已經達到了500片，不過這個產
能跟當初提到的每小時70片晶圓相差還是很多。ASML還提到了他們正在跟一個客戶合作，
準備在2016年的10nm中期節點安裝EUV光刻設備，這意味著兩年後的10nm節點上我們會正
式迎來EUV製程，談論了多年的技術終於開始量產了。
NXE:3100，量產型則是NEX:3300B，該設備每天的晶圓產能已經達到了500片，不過這個產
能跟當初提到的每小時70片晶圓相差還是很多。ASML還提到了他們正在跟一個客戶合作，
準備在2016年的10nm中期節點安裝EUV光刻設備，這意味著兩年後的10nm節點上我們會正
式迎來EUV製程，談論了多年的技術終於開始量產了。
ASML並沒有公佈這個客戶的名字，不過業界普遍認為這是Intel公司，Intel不僅是ASML公
司的大客戶，也是大股東之一，2012年投資41億美元獲得了ASML公司15%的股份，對推動EUV光刻製程也是最積極的，當然，Intel也是最有實力和財力的，首先應用EUV製程並不
意外。備註:
AMD表示:
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→ : QQ obov已經開示過了 感恩1F 10/19 12:11
→ : QQ AMD 2016重返○○!!2F 10/19 12:17
推 : 樓下 obov QQ3F 10/19 12:27
推 : QQ 我不是~樓下才是obov4F 10/19 12:32
推 : 我也不是 聽說 obov 大退隱江湖，不問世事了 (毆)5F 10/19 12:45
推 : AMD:都看不到車尾燈了,給不給活路啊? INTEL:怪我囉6F 10/19 12:47
推 : QQ7F 10/19 13:07
推 : QQ了8F 10/19 13:11
推 : 明年AMD要拿28nm打Intel的14nm9F 10/19 13:14
推 : tsmc 毛利50.5% 純利36.5%10F 10/19 13:16
→ : INTEL 毛利65% 純利約23% 好像
→ : 比起來 TSMC應該是在新製程投入不夠 或者給股東太多
→ : 另外，INTEL遲遲沒聽說與APPLE代工 WHY??這組合超強
→ : INTEL 毛利65% 純利約23% 好像
→ : 比起來 TSMC應該是在新製程投入不夠 或者給股東太多
→ : 另外，INTEL遲遲沒聽說與APPLE代工 WHY??這組合超強
推 : 專利、智財權還有利益衝突問題14F 10/19 13:25
→ : AMD：他偷跑一圈了15F 10/19 13:32
推 : immama表示:16F 10/19 13:41
推 : AMD:QQ17F 10/19 14:15
推 : QQ18F 10/19 14:26
推 : 10nm檯面上幾家Intel TSMC Samsung差不多都進入開始19F 10/19 15:08
→ : 難道.....真的....要....G.....G.....了......20F 10/19 15:09
→ : 研發階段 EUV是早已確定趕不上了 最好的情形是10nm21F 10/19 15:09
推 : 我難過 QQ22F 10/19 15:09
→ : A還在28nm製程 快等等阿23F 10/19 15:10
→ : EUV進入試產 7nm正式上場 但很有可能還是繼續跳票24F 10/19 15:10
推 : 10nm應該是要用三重曝光了，而且良率不會很好看25F 10/19 16:10
→ : 7nm還用浸潤式曝光的話，成本會高的難以想像
→ : 7nm還用浸潤式曝光的話，成本會高的難以想像
推 : INTEL:我也不想壟斷啊.27F 10/19 16:12
推 : 管你幾NM 效能先提升個30%我再買 ( ￣ c￣)y▂ξ28F 10/19 16:13
推 : (ˊ_>ˋ)29F 10/19 16:15
推 : 依ASML的進度來看，EUV至少要2018年才能商業化30F 10/19 16:17
→ : 那麼誰先蓋出18吋晶圓廠來降低成本就很重要了
推 : TSMC還有多重電子束的備案，但又要燒錢了;;;
→ : 那麼誰先蓋出18吋晶圓廠來降低成本就很重要了
推 : TSMC還有多重電子束的備案，但又要燒錢了;;;
推 : 之前Intel有提過四重曝光....金恐怖33F 10/19 16:30
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