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看板 Gossiping
作者 標題 [新聞] 中微半導體5奈米刻蝕機通過台積電驗證
時間 Wed Dec 19 14:44:03 2018
中微半導體5奈米刻蝕機通過台積電驗證
2018年12月18日 16:54 工商 李書良 中時
解放日報18日報導，近期大陸的中微半導體自主研製的5奈米等離子體刻蝕機經台積電驗
證，性能優良，將用於全球首條5奈米製程生產線。
報導稱，5奈米相當於頭髮絲直徑的二萬分之一，是積體電路製程工藝最小線寬。台積電
宣布2019年將進行5奈米制程試產、預計2020年量產。
根據國際半導體產業協會資料顯示，2018年第三季，中國大陸半導體設備銷售額首次超越
韓國，預計2019年將成為全球最大半導體設備市場，包括中微半導體、北方華創在內的大
陸設備廠商有望提高設備滲透率。
韓國，預計2019年將成為全球最大半導體設備市場，包括中微半導體、北方華創在內的大
陸設備廠商有望提高設備滲透率。
https://www.chinatimes.com/realtimenews/20181218003298-260410
中微半導體5奈米刻蝕機通過台積電驗證 - 中時電子報
![[圖]]()
解放日報18日報導，近期大陸的中微半導體自主研製的5奈米等離子體刻蝕機經台積電驗證，性能優良，將用於全球首條5奈米製程生產線。報導稱，5奈米相當於頭髮絲直徑的二萬分之一，是積體電路製程工藝最小線寬。台積電宣布2019年將進行5奈米制程試產、預計2020年量產。根據國際半導體產業協會資料顯示，2018 ...
![[圖]](https://img.chinatimes.com/newsphoto/2016-06-08/Clipping/20160608003186_636009832151288289.png)
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尹志堯同志! 牛逼~~~
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→ : 吱吱崩潰1F 12/19 14:44
推 : 文組左膠覺青表示2F 12/19 14:44
→ : 中國又在放假消息自慰惹。3F 12/19 14:44
→ : 記者: 李書良4F 12/19 14:46
→ : 中國或成5F 12/19 14:46
推 : 叛將出頭天6F 12/19 14:46
推 : 喔幹 哪那些大量爆買7nm 不就ASML吃完換嗑中國~7F 12/19 14:47
→ : 中時8F 12/19 14:47
推 : 哈哈哈！蛆國或成最大婬家9F 12/19 14:50
推 : 跟台積電合作?10F 12/19 14:52
→ : ASML表示:.....11F 12/19 14:52
→ : 等台積打臉中微12F 12/19 14:52
→ : 我記得中國只造的出幾個蝕刻步驟中的一種機台13F 12/19 14:53
推 : 該不會是把ASML 商標塗掉換成自己的吧14F 12/19 14:54
→ : 最難造的技術還是在歐美手上15F 12/19 14:54
推 : ASML:???16F 12/19 14:54
推 : 是不太相信啦17F 12/19 14:55
推 : 第一段跟第二段有關聯嗎18F 12/19 14:55
→ : 然後有機台也要會用 這就是台GG的功力惹19F 12/19 14:55
噓 : 白痴記者用來唬外行人的，5毛看到5nm就高潮XD20F 12/19 14:55
推 : asml 是光刻 光刻跟蝕刻是不同步驟 拜託一下有些人搞懂21F 12/19 14:55
推 : 剛好五毛GG5nm22F 12/19 14:56
推 : 沒有良率?23F 12/19 14:56
→ : 反正中屎吹捧中國的新聞 可以說不用看24F 12/19 14:57
推 : 半導體製成很複雜 裡面有多種化學 物理性 製成 不是單25F 12/19 14:58
→ : 純只有一個步驟好嘛
→ : 純只有一個步驟好嘛
推 : Zzzzzzzz 沒那種事27F 12/19 15:01
推 : 良率才是重點28F 12/19 15:02
→ : 買一台測試看看29F 12/19 15:03
推 : 通過驗證而已 試量產OK才是重點30F 12/19 15:05
推 : 換成台積電覺青就閉嘴了31F 12/19 15:08
推 : 蝕刻應該是Lam吧？32F 12/19 15:09
→ : 乾蝕刻5nm好像不是什麼特別了不起的成就.....33F 12/19 15:13
推 : 這個只是其中一個製成機器八34F 12/19 15:16
推 : 回某樓蝕刻就是光刻的某步驟，然後通過台積電代表她是35F 12/19 15:17
→ : 真的能用
→ : 真的能用
→ : 真假？37F 12/19 15:18
→ : 真的能用，中國也真的做出來了，但...不是光刻，是蝕刻38F 12/19 15:27
→ : 蝕刻是其中一個步驟.光刻才是重點.中國光刻目前只有90nm
→ : 蝕刻是其中一個步驟.光刻才是重點.中國光刻目前只有90nm
→ : ASML是做曝光機 黃光製程 跟蝕刻的難度差太多了40F 12/19 15:36
推 : 蝕刻是另一家啦 不是asml41F 12/19 15:38
→ : 解放日報 XD42F 12/19 15:38
推 : 蝕刻我記得我以前學校就有一台隨便你用43F 12/19 15:42
→ : 曝光機大概一台幾十億還搶不到 蝕刻機看有沒有ETCH44F 12/19 15:42
→ : 的弟兄要回答一下一台多少
→ : 的弟兄要回答一下一台多少
→ : 廢到笑46F 12/19 15:46
→ : 廢到不忍噓47F 12/19 15:50
推 : ....就蝕刻機台啊48F 12/19 15:51
推 : 蝕刻是應材或LAM49F 12/19 16:01
→ : 不以為意的請思考一下驗證單位為什麼是台積不是其它人50F 12/19 16:10
推 : 就台積有在用的比較好賣啊51F 12/19 16:13
推 : 蝕刻...52F 12/19 16:18
推 : 所以哪一支可以空53F 12/19 16:19
→ : 這個台灣做得出來嗎？54F 12/19 17:11
推 : NXT1980 包含track整組聽說大約40多億55F 12/19 18:24
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