台積電爆發製程瑕疵事件引起關注，昨天台積電發出聲明，強調南科十四廠的F14B晶
圓瑕疵，問題來自一批光阻原料，重申事件不會影響財測。不過台積電不到半年就連
續發生製程出包，打擊投資人信心，昨天股價市值狂掉逾一千六百億元，也讓台股再
度失守萬點。

台積電聲明指出，過去十天中已與所有受影響客戶密切溝通，包含相關補貨和交期細
節，以目前產能利用率來看，預計受影響的晶圓大部分能在第一季補回，若有第一季
無法補回的也應能在第二季補回。

台積電供應鏈指出，這次出事雖然只是半導體製程一項化學材料，卻是半導體前段在
黃光製程極為關鍵的一項電子化學材料光阻劑，台積電表示，這次製程造成良率銳減
，是因一個與台積有多年供貨經驗優良的廠商，卻發生一批供應給F14B光阻劑規格與
過去有相當大的誤差。

台積電晶圓製程瑕疵事件發生十天後，外界才得知，產業界更驚呼，這不應該是模範
生會出現的問題，連號稱最強颱積電分析師陸行之都不以為然，他還在臉書上發文指
出，聽說這次也很嚴重，不是作廢二到三萬片晶圓片就可解決的事。

台積電目前供應光阻劑主要大廠包括日商JSR、信越化學、富士材料、東應化和陶氏化
學等大廠，其中前四家都是日商，JSR是由國內專業化學材料商華立代理；信越則由崇
越代理。

華立和崇越昨天都表示，該公司所提供的光阻劑未發生問題，也未收到台積電通知。

台經院研究員暨產業顧問劉佩真指出，半導體景氣下滑，且處淡季，台積電的產能利
用率本來就未滿，因此可以快速補上，預估這次晶圓製程瑕疵事件的損失將小於廿六
億美元；以上次病毒事件來說，在明快的處理下落幕，但因兩次事件發生時間不到半
年，造成對信心面的影響比實質面來的更大一些。

台積電雖說這次製程大出包事件，是因為多年供貨經驗優良的廠商提供不合格光阻劑
讓公司誤信，但是業界認為，製程把關本來就必須靠自己嚴格防備，尤其台積電才發
生機台中毒造成北中南三大廠大當機不到半年，這次製程因進不合格料而遭汙染，內
部管理還是難辭其咎。