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看板 Tech_Job
作者 標題 [新聞] 陸首台100％自產高端晶圓切割機問世
時間 Sun Jul 16 20:29:18 2023
中國光谷微信公眾號11日消息，接連突破一批「卡脖子」技術、先後創下半導體雷射設備領
域等60多項「中國第一」的大陸華工科技，再下一城，旗下華工雷射半導體，已製造出中國
首台核心零組件100％國產化的高端晶圓雷射切割設備。
域等60多項「中國第一」的大陸華工科技，再下一城，旗下華工雷射半導體，已製造出中國
首台核心零組件100％國產化的高端晶圓雷射切割設備。
大陸華工雷射半導體產品總監黃偉指出，半導體晶圓屬於硬脆材料，在12吋晶圓上有數千
顆甚至數萬顆晶片，晶圓切割和晶片分離無論採取機械或雷射方式，都會因物質接觸和高速
運動而產生熱影響和崩邊，從而影響晶片性能，因此，控制熱影響的擴散範圍和崩邊尺寸是
關鍵。
顆甚至數萬顆晶片，晶圓切割和晶片分離無論採取機械或雷射方式，都會因物質接觸和高速
運動而產生熱影響和崩邊，從而影響晶片性能，因此，控制熱影響的擴散範圍和崩邊尺寸是
關鍵。
黃偉說，機械切割的熱影響和崩邊寬度約20微米（0.001 公釐），傳統雷射在10微米左右
；此外，切割線寬的減少，意味著晶圓能做到更高的集成度，從而使得半導體製造更經濟、
更有效率。
；此外，切割線寬的減少，意味著晶圓能做到更高的集成度，從而使得半導體製造更經濟、
更有效率。
去年起，黃偉團隊對半導體晶圓切割技術，展開微奈米級雷射加工的迭代升級、攻堅突破
，「最忙時我們團隊20多人兩班倒輪流做測試實驗和產品優化，設備24小時不停。」
經過一年努力，半導體晶圓切割技術成功實現升級，熱影響降為0，崩邊尺寸降至5微米以
內，切割線寬可做到10微米以內。
按照生產一代、研發一代、儲備一代的理念，華工雷射正在研發具備行業領先水準的第三
代半導體晶圓雷射退火設備。
2000年6月，頂著「中國雷射第一股」光環，華工科技在深交所上市。作為華中科技大學
校辦企業，依託大學在雷射領域的技術積累和研發優勢，以及資本市場的融資便利，華工科
技從銷售額不到億元人民幣的「小塊頭」，快速成長為首批大陸國家創新型企業。
校辦企業，依託大學在雷射領域的技術積累和研發優勢，以及資本市場的融資便利，華工科
技從銷售額不到億元人民幣的「小塊頭」，快速成長為首批大陸國家創新型企業。
根據SEMI（國際半導體產業協會）數據，2022年中國晶圓廠商半導體設備國產化率較2021
年明顯提升，從21％提升至35％；大陸國內半導體設備在去膠、清洗、熱處理、刻蝕及CMP
領域內國產替代率
年明顯提升，從21％提升至35％；大陸國內半導體設備在去膠、清洗、熱處理、刻蝕及CMP
領域內國產替代率
04:102023/07/12 旺報 李文輝╱綜合報導
https://www.chinatimes.com/amp/newspapers/20230712000663-260303
陸首台100％自產高端晶圓切割機問世 - 日報 - 中時新聞網
![[圖]]()
中國光谷微信公眾號11日消息，接連突破一批「卡脖子」技術、先後創下半導體雷射設備領域等60多項「中國第一」的大陸華工科技，再下一城，旗下華工雷射半導體，已製造出中國首台核心零組件100％國產化的高端晶圓雷射切割設備。 ...
![[圖]](https://images.chinatimes.com/newsphoto/2023-07-12/656/B12A00_P_03_02.jpg)
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 223.137.85.153 (臺灣)
※ 作者: summer3827 2023-07-16 20:29:18
※ 文章代碼(AID): #1ai-AWzG (Tech_Job)
※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1689510560.A.F50.html
→ : 贏了…....1F 07/16 20:37
推 : 贏麻了2F 07/16 20:41
推 : 可是晶圓本身做不好是要拿什麼切?3F 07/16 20:42
推 : Disco:4F 07/16 20:46
推 : 說這麽多 還不就是Die saw機台 =.=5F 07/16 20:50
→ : 大概就已知使用雷射而已6F 07/16 20:55
推 : 穩！7F 07/16 20:56
推 : 中國大陸自己造 台灣用買的就好了8F 07/16 20:57
推 : 慘了 準備要卡美國脖子了，中又贏9F 07/16 21:13
→ : 要卡啥 切完良率會變高嗎10F 07/16 21:17
推 : 這跟兩個醫生用的那個會比較不痛嗎？！！！11F 07/16 21:41
推 : Disco表示12F 07/16 22:22
推 : 都生不出先進製程了是要切個寂寞是嗎？13F 07/16 22:28
推 : 中又贏14F 07/16 22:44
推 : die saw機台也可以吹，笑死15F 07/16 22:53
→ : 懂割16F 07/16 23:15
推 : 割的是韭菜吧17F 07/16 23:20
→ : 團隊20多人...嗯,技術含量一定很高!!!18F 07/16 23:34
噓 : 中或贏19F 07/16 23:52
噓 : 雷射切割機？這種東西要自己研究？20F 07/17 00:10
噓 : Dicing跟laser anneal是要吹什麼==21F 07/17 00:55
推 : 哪個晶圓廠良率的key在die saw?22F 07/17 01:21
→ : 雷射第一股？不是大族嗎？23F 07/17 02:09
推 : disco disco 讚讚～ disco disco 讚讚～24F 07/17 03:39
推 : 超台趕歐美 世界第一25F 07/17 05:43
推 : 但如果可以做出高品質雷射退火的話是不錯 目前要做26F 07/17 05:55
→ : 出穩定雷射其實蠻困難的
→ : 出穩定雷射其實蠻困難的
推 : 做出die saw是不是可以贏過dyson？28F 07/17 06:27
推 : 中國在雷射領域 算是不落後的29F 07/17 06:58
![[圖]](https://i4.disp.cc/imgur/x7lUiOu.jpg)
→ : 做出 die saw 應該贏大創 daiso 了31F 07/17 07:04
→ : 中或贏32F 07/17 07:36
推 : 贏麻了33F 07/17 07:49
推 : 卡什麼脖子，不會自己生喔。34F 07/17 07:59
→ : 老鼠脖子35F 07/17 08:01
推 : 中又贏36F 07/17 09:26
推 : 下次就改吹P&P了 笑死37F 07/17 12:24
推 : 晶圓晶片設計做不起來 做個晶圓切割能幹嘛 ？一種38F 07/17 13:01
→ : 沒有米有電鍋的概念
→ : 沒有米有電鍋的概念
推 : Disco: 好喔40F 07/17 13:40
推 : 算不錯吧 任何人都有起步的時候41F 07/17 14:53
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