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看板 Gossiping
作者 標題 [新聞] 台積電研發副總林本堅 獲IEEE西澤潤一獎
時間 Tue Jun 25 23:33:07 2013
1.媒體來源:
中時電子報
2.完整新聞標題/內文:
台積電研發副總林本堅 獲IEEE西澤潤一獎
台積電研發副總經理林本堅因為在浸潤式微影（Immersion Lithography）技術上的成就
，獲頒今年度的國際電機電子工程師學會（IEEE）西澤潤一獎（Jun-ichi Nishizawa
Medal）。
林本堅是半導體業界第一位發明以水當成微影介質，讓台積電及其它半導體廠得以開發出
浸潤式微影技術，推進半導體製程順利進入28奈米及20奈米世代，因此，IEEE頒發西澤潤
一獎項給林本堅，以表彰其對半導體產業的特殊貢獻。
浸潤式微影技術，推進半導體製程順利進入28奈米及20奈米世代，因此，IEEE頒發西澤潤
一獎項給林本堅，以表彰其對半導體產業的特殊貢獻。
林本堅是1987年在IBM工作時，就提出浸潤式的微影技術概念，2002年時，林本堅已在台
積電擔任微影技術研發負責人，當時半導體產業正在思考，當製程技術微縮到90奈米以下
時，微影技術該何去何從。
積電擔任微影技術研發負責人，當時半導體產業正在思考，當製程技術微縮到90奈米以下
時，微影技術該何去何從。
林本堅表示，當時產業界及主要設備廠主要設計出的157nm微影設備，但技術太過複雜，
對半導體廠來說製造難度很高，所以，他發現以水作為介質，可讓193nm微影設備延續使
用，並可持續推進製程微縮速度。
對半導體廠來說製造難度很高，所以，他發現以水作為介質，可讓193nm微影設備延續使
用，並可持續推進製程微縮速度。
林本堅說，當初想到用水當成介質，其實只是想到在半導體實務經驗中，水是大家可以普
遍接受的材料，隨處都有且不會造成污染，只是沒想到這個想法，後續獲得各家半導體廠
認同，均統一採用水作為介質。
遍接受的材料，隨處都有且不會造成污染，只是沒想到這個想法，後續獲得各家半導體廠
認同，均統一採用水作為介質。
台積電自40奈米開始採用浸潤式微影製程，現在量產中的28奈米，以及即將量產的20奈米
，均延續採用。林本堅表示，浸潤式微影製程看來可以繼續採用在16奈米及10奈米，成為
有史以來，半導體微影製程技術上最長命的技術。
，均延續採用。林本堅表示，浸潤式微影製程看來可以繼續採用在16奈米及10奈米，成為
有史以來，半導體微影製程技術上最長命的技術。
林本堅因為發明浸潤式技術，讓台積電在40奈米之後的技術研發突飛猛進，現在已經能與
龍頭大廠英特爾並駕其驅。當然，林本堅帶領的研發部門，2000年員工人數只有50人，但
現在已擴大到500人的規模，成為台積電技術研發上的先鋒團隊。
龍頭大廠英特爾並駕其驅。當然，林本堅帶領的研發部門，2000年員工人數只有50人，但
現在已擴大到500人的規模，成為台積電技術研發上的先鋒團隊。
至於台積電下一世代的微影技術研發，林本堅表示，極紫外光（EUV）及多重電子束（
Multi e-Beam）仍是選項，EUV的問題在於光源的功耗及每小時可處理的晶圓片數仍不足
，因此製造成本仍高於現在採用的多重曝光，至於多重電子束則決定朝向高功耗的技術發
展。
，因此製造成本仍高於現在採用的多重曝光，至於多重電子束則決定朝向高功耗的技術發
展。
3.新聞連結:
http://ppt.cc/OWBR
4.備註:
不知這種強人在台積年薪多少
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 60.244.37.179
推 :你剛畢業沒工作經驗 38K1F 06/25 23:33
推 :32F 06/25 23:34
噓 :外資85%的公司3F 06/25 23:34
推 :現在它們很缺人4F 06/25 23:34
→ :服貿協議一簽 台積店一樣要倒5F 06/25 23:34
推 :22K*12=6F 06/25 23:35
推 :到時變陸資85%?7F 06/25 23:35
推 :至少百萬鎂吧~8F 06/25 23:36
推 :他1987年就在IBM當研發惹 年薪應該五千萬~一億左右9F 06/25 23:36
推 :薪水是零頭吧 看持股比例10F 06/25 23:36
→ :等張忠謀百年以後 中芯就可以準備併台積店了11F 06/25 23:36
※ 編輯: cico325 來自: 60.244.37.179 (06/25 23:37)推 :某人應該不知道台GG的市值12F 06/25 23:37
→ :套一句張董的話:半導體不是你有錢就能玩得起
→ :套一句張董的話:半導體不是你有錢就能玩得起
→ :蔡力行當家的時候股價多少 市值值多少 別用現在的股價看14F 06/25 23:39
推 :台積真的被某些人小看了15F 06/25 23:40
→ :希望不要有這一天啊...16F 06/25 23:40
→ :台GG=台灣
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→ :某人應該不知道台積有很多中芯的股票18F 06/25 23:42
推 :中芯不虧錢都很拼了 還想併台G19F 06/25 23:43
→ :我覺得他們大概文組的吧，對業界也沒什麼sense20F 06/25 23:45
推 :去年已經出脫一堆了 my都沒在看啊21F 06/25 23:46
→ :最好是中芯有才調併GG,有句話說的很好，聰明有極限，愚蠢22F 06/25 23:47
→ :則無。某人完美的詮釋這句話
→ :則無。某人完美的詮釋這句話
→ :中芯賠台積電 8% 中芯股票，有額外認購 2% 的話，持股 10%24F 06/25 23:49
→ :中芯的股票GG處理得差不多了啦 不過服貿協議對GG會有影響嗎25F 06/25 23:49
→ :中芯被GG告到脫褲子，都要變成GG分店了，還吃GG咧26F 06/25 23:49
→ :中芯大股東還想拜託台積電併中芯,是台積電不要27F 06/25 23:50
→ :理工也不見得有sense啊 又不是每個都是從事科技業28F 06/25 23:51
推 :就說版上嘴泡一堆都沒看過my 還敢說多瞭解這個產業29F 06/25 23:51
→ :想威脅GG, 外星科技的intel是一個，地球科技的三星是一個30F 06/25 23:53
→ :中芯? 連GF UMC這種等級的都打不過，還想吃GG，這種話中
→ :芯自己都不敢講，只有完美詮釋愚蠢無極限的鄉民敢嘴砲而已
→ :中芯? 連GF UMC這種等級的都打不過，還想吃GG，這種話中
→ :芯自己都不敢講，只有完美詮釋愚蠢無極限的鄉民敢嘴砲而已
→ :老四還早吧 沒啥威脅性33F 06/25 23:55
→ :啦34F 06/25 23:55
推 :再怎麼蠢都比沒資格看my的 瞭解這個產業多太多了35F 06/25 23:57
→ :看了還能發表這種言論，只能掬一把同情之淚36F 06/26 00:00
→ :真是嘴炮無極限
→ :真是嘴炮無極限
→ :my不就是各大報有GG關鍵字的新聞貼一貼而已嗎XD38F 06/26 00:02
推 :中芯併台積?! 哈哈哈哈這哪來的活寶39F 06/26 00:08
→ :台G根本不怎麼想要中芯股票啊
→ :台G根本不怎麼想要中芯股票啊
推 :八卦板一堆科技業外行又愛發表高論 看過一次後完全不想討論41F 06/26 00:11
→ :跟這些人在八卦談科技業根本浪費時間 只會出張嘴嗆魯蛇輸國外
→ :跟這些人在八卦談科技業根本浪費時間 只會出張嘴嗆魯蛇輸國外
→ :懂科技業跟買股票是不相關的東西，能否併購沒什麼好討論。43F 06/26 00:16
→ :八卦版果然一堆魯蛇在流竄，愚蠢至極44F 06/26 00:46
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