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作者
ttucse
((((>( ̄▽ ̄)<))))
標題
[問卦] 晶圓是怎麼對準光罩的
時間
Mon Apr 22 22:35:30 2024
晶圓在曝光的時候要對準光罩
曝光好幾次就要對準好幾次
要是沒對準不就廢了
我看要對準至少精度要到奈米等級吧
怎麼對準的啊
機器手臂或移動的裝置可以精確到奈米等級嗎?
也太厲害了吧
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 36.226.64.252 (臺灣)
※ 作者:
ttucse
2024-04-22 22:35:30
※ 文章代碼(AID): #1c9dMsOI (Gossiping)
※ 文章網址:
https://www.ptt.cc/bbs/Gossiping/M.1713796534.A.612.html
推
nitvx
: 小精靈
1F 101.137.80.219 台灣 04/22 22:35
推
solomonABC
: 用五樓的奈米屌
2F 111.254.61.213 台灣 04/22 22:35
※ 編輯: ttucse (36.226.64.252 臺灣), 04/22/2024 22:36:54
噓
potential208
: 都幾年了現在才知道?
3F 219.86.9.15 台灣 04/22 22:36
→
Carmelo
: 有好幾個對位mark
4F 36.224.232.160 台灣 04/22 22:37
推
AmigoSin
: 小精靈
5F 42.72.64.36 台灣 04/22 22:37
推
ampeial
: 對岸都用美工刀刻出三奈米 你還在用火
6F 36.230.155.71 台灣 04/22 22:37
推
s871413
: 自己的功課自己做
7F 220.141.17.69 台灣 04/22 22:37
推
AgentSkye56
: 拿鑷子喬角度吧
8F 101.10.13.39 台灣 04/22 22:39
噓
Qoo20811
: 有Lmark和檢測站看有沒有overlay
9F 59.102.211.98 台灣 04/22 22:39
→
AgentSkye56
: 去買幾支尺 你也可以對的很準
10F 101.10.13.39 台灣 04/22 22:40
→
Sarvmill
: 用戰略級的雷射定位基板定位beam
11F 111.255.118.180 台灣 04/22 22:40
→
jumperman
: align mark和BIB overlay...
12F 42.73.255.135 台灣 04/22 22:41
→
Sarvmill
: 這種基板如果要進台灣必須先有美國老爸
13F 111.255.118.180 台灣 04/22 22:41
推
andy70612
: 去問優志旺
14F 36.238.48.107 台灣 04/22 22:41
→
Sarvmill
: 同意,要換的申請很麻煩
15F 111.255.118.180 台灣 04/22 22:41
→
MKAngelheart
: 曝光機是會曝alignment mark的 曝
光前還有一大堆參數輸入 大可不必
擔心 就算沒對準是可以rework的
16F 42.76.166.220 台灣 04/22 22:42
噓
ionchips
: 對位標記...
19F 114.45.212.177 台灣 04/22 22:43
推
Sarvmill
: 樓上的你說的只是靜態定位,畫片中還需
要動態補償定位
20F 111.255.118.180 台灣 04/22 22:43
→
chris44099
: 動感光波 啊哭胸畢姆
22F 114.39.97.209 台灣 04/22 22:46
推
Sarvmill
: 以shot數來說一片光罩以數億筆資料計
23F 111.255.118.180 台灣 04/22 22:47
推
NECKS
: key
24F 61.230.56.17 台灣 04/22 22:48
推
vapour1001
: 你去當產線三寶中的籤王製程就知道了
25F 111.83.136.216 台灣 04/22 22:53
→
aippa
: 補正是同時進行的啦 一台這麼貴也不是賣假
26F 42.72.143.221 台灣 04/22 22:53
→
kickmeout
: 文具店就有賣了..加上WD40 好用
27F 125.228.76.59 台灣 04/22 23:08
--
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