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作者 jackliao1990 (j)
標題 [新聞] 中國實現國產DUV曝光機 可生產8奈米及以
時間 Sun Sep 15 14:46:35 2024

https://www.cna.com.tw/news/ait/202409140249.aspx
中國實現國產DUV曝光機 可生產8奈米及以下晶片 | 科技 | 中央社 CNA
[圖]
中國工信部近日公布一項通知顯示，中國已取得重大技術突破，研發出深紫外光曝光機（DUV），可生產8奈米及以下晶片，目前正在推廣應用。 ...

 
中國實現國產DUV曝光機 可生產8奈米及以下晶片
楊昇儒

中國工信部近日公布一項通知顯示，中國已取得重大技術突破，研發出深紫外光曝光機（
DUV），可生產8奈米及以下晶片，目前正在推廣應用。

中國工業和信息化部官網9日公布「首台（套）重大技術裝備推廣應用指導目錄（2024年
版）」的通知，下發地方要求加強產業、財政、金融、科技等國家支持政策的協同。

中國工信部稱，重大技術裝備是國之重器，事關綜合國力和國家安全。「中國首台（套）
重大技術裝備」是指國內實現重大技術突破、擁有智慧財產權、尚未取得明顯市場業績的
裝備產品，包括整機設備、核心系統和關鍵零部件等。


這份目錄顯示，在積體電路生產裝備，其中一項是「氟化氬光刻機」（DUV曝光機），核
心技術指標是「晶圓直徑300mm，照明波長248nm，分辨率≦65nm，套刻≦8nm」。這也代
表，這台國產DUV可生產8奈米及以下晶片。


中國大陸科技自媒體今天轉發消息後稱，中國自己的DUV曝光機終於來了，雖然與荷蘭艾
司摩爾（ASML）曝光機存在代差，至少己填補空白，可控可用，期待之後能研發出更先進
的極紫外光曝光機（EUV）。


美國5日才宣布收緊製造先進半導體設備所需機器的出口管制，荷蘭政府隔天跟進，宣布
擴大限制半導體製造設備出口，。

路透社報導，ASML的1970i和1980i深紫外光曝光機（DUV）輸出中國會受到影響，兩款機
型大約是ASML所屬DUV產品線的中階位置。

中國若實現國產8奈米及以下製程DUV，未來絕大多數晶片製造，將不用受制於ASML。不過
，截至目前，尚無中國官方與廠商宣布這項消息。



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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 111.253.173.196 (臺灣)
※ 作者: jackliao1990 2024-09-15 14:46:35
※ 文章代碼(AID): #1cveBEbd (Tech_Job)
※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1726382798.A.967.html
推 s213092921: http://i.imgur.com/lF394HI.jpg1F 09/15 14:49
[圖]
噓 flower42: 一次曝不出來就曝兩次 嘻嘻2F 09/15 14:51
推 magic404011: 八奈米以下要被捲爛了3F 09/15 14:51
→ dog9804: 光源248nm 做8奈米.. 搞笑嗎 套刻是純疊對吧4F 09/15 14:52
推 godog: https://reurl.cc/A23b7Y
2.1集成電路生產裝備的2.1.65F 09/15 14:55
→ s213092921: 這是拿來製作28nm以上晶片的國產DUV，目前官方已公開的7F 09/15 14:56
→ godog: 中央社那個數據是錯的9F 09/15 14:57
推 japanner: 至少人家已經做的出這樣了，某樓在繼續笑啊，有本事你去做阿10F 09/15 15:15
推 ericisfish: 笑支那就開始崩潰叫人自己去弄喔，大絕這麼快就開了？12F 09/15 15:16
推 Bugquan: 這篇就亂寫的啊，我看知乎上的評論，也沒啥人說什麼用來做8nm14F 09/15 15:22
推 F93935: 嘻嘻曝光機 光罩做得出來嗎16F 09/15 15:24
→ cityhunter04: 用手刻就能到3奈米了，研發機器幹嘛？
取笑強國就有人出來護航，舔共x有沒有那麼玻璃心啊？17F 09/15 15:26
推 tpegioe: 台灣還要幾年才能量產DUV機台？20F 09/15 15:35
噓 zombiechen: 台灣能買到更好的機台，幹嘛自製？21F 09/15 15:36
推 hortl233: 沒辦法，大中華思想的腦子永遠是這樣哈哈22F 09/15 15:37
推 skyarcher: 248 不就K line而已23F 09/15 15:39
推 beesee: 能自製就是隱憂了，難保挖角碰過euv的工程師24F 09/15 15:41
推 tpegioe: 台灣能自製DUV，成本和良率一定比ASML更優，更不用說能幫助成熟製程代工廠降低成本、增加競爭力
如果台灣沒有台積電，台灣依然能花錢使用外國廠商的先進製程，但半導體產業絕對比今日萎縮很多
台灣的晶片設計能起飛就是因為晶片自製能力強，能25F 09/15 15:50
推 good5755: 248？上海微電子那台SSA/800-10W據傳是193nm光源耶30F 09/15 16:00
噓 Westzone: 黃光相關的看到這篇文章會笑死..KrF講能做到8nm，傻31F 09/15 16:00
→ tpegioe: 和代工廠在無語言與文化隔閡的情況下迭代更新技術32F 09/15 16:00
→ Westzone: 子才信..洗腦韭菜用的33F 09/15 16:00
→ q2825842: 傻了才會想全部自己來，成本效益只會比別人更差不會更好，最後淪為宣傳和騙補貼34F 09/15 16:01
推 s213092921: 感謝美國爸爸制裁中國，逼出國產光刻機^^36F 09/15 16:03
推 tpegioe: 這篇怪的是ArF和KrF的數據亂湊合著用37F 09/15 16:05
推 da1234527123: 逼出了個垃圾東西，光這波就讓很多人的口袋飽飽了38F 09/15 16:05
→ tpegioe: 臺基現在不就晶圓代工和封裝都想吃下，難道台積是39F 09/15 16:05
推 orz44444: 這麼快就搞出來!!!猜有ASML的技術移轉~~40F 09/15 16:06
→ tpegioe: 傻了才想包下封裝？41F 09/15 16:06
→ orz44444: ASM沒辦法賣機器那就賣技術,無法可管XDDD
ASML沒辦法賣機器那就賣技術,無法可管XDDD42F 09/15 16:08
推 king9122: 艾司摩爾的光刻機都要全球各頂尖企業的產品合力才有你一個被制裁的國家要後追我相信可行，但唬太大真的沒幫助，只是在壯膽而已，是看不起資本世界的合作44F 09/15 16:17
推 Merman19: 真的有實際生產再吹也不遲阿47F 09/15 16:31
噓 ideo: KrF 248波長能曝出8nm?那根本就不需要EUV了，到底是懂不懂啊？48F 09/15 16:39
推 wts4832: 快點做出來吧，科技業晶片賣太貴賺太多，就需要中國來卷，降低售價刺激應用科技發展50F 09/15 16:52
噓 okm11328: 還在騙補助52F 09/15 16:53
推 PerfectID: 台灣人自卑,先在成熟製程取代台灣吧53F 09/15 16:53

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