※ 本文轉寄自 ptt.cc 更新時間: 2022-12-14 23:15:09
看板 Tech_Job
作者 標題 Re: [請益] 面試被問後段製程為什麼半導體蓋那麼高
時間 Wed Dec 14 19:09:01 2022
※ 引述《mytaiwan (轉角遇到困難)》之銘言:
: 如題,面試某科技廠時被問CMP和BEOL這些方向,結果人資問BEOL為什麼要蓋那麼高(示
: 意圖)我說訊號傳遞,人資說能不能再清楚一點,然後我也不知道怎麼掰了。回到家還是
: 在想為什麼要一直堆疊,可是谷歌的結果也是沒答案,各位鄉民知道嗎?
: https://i.imgur.com/EGNtsRB.jpg
認真回覆你的問題,不要說Ptt沒有溫暖
1. 以銅製程CMOS Logic製程而言,channel size從80nm>55>40>28>1x FinFet,
Device尺寸一直微縮,對應就是你BEOL金屬化metal routing線就跟著約細密,
然後DUV黃光曝光有極限,當難以Routing時,就會把走線往上延伸一層,
有點類似BEOL 的Metal +Via當contact用。
BTW, 最容易理解的範例就是例如28nmCOMS下的6T SRAM是需要3層Metal來完成,因為Bit
size太細,M1只是將contact 往上拉騰出空間,M2和M3分別完成BL和WL的走線。
2.部分embedded High voltage製程,為了避免金屬走線電壓差過大,所以必須讓開Metal
space,當空間不足以routing時,就必須往上畫。
3.部分RF元件,必須使用電感,因此會有Ultra thick metal的使用。
4.製程需要電容,其中MOM,就是需要METAL和METAL夾的寄生電容。
總結,
一般成熟的CMOS Logic製程都會提供多種metal option給客戶用,不乏有1P10M的選項,
但是越多層Metal,成本越高,cycle time越長,所以能少一層是一層
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 118.231.146.46 (臺灣)
※ 文章代碼(AID): #1ZcQxF3d (Tech_Job)
※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1671016143.A.0E7.html
※ 編輯: poemsing (118.231.146.46 臺灣), 12/14/2022 19:09:36
※ 編輯: poemsing (118.231.146.46 臺灣), 12/14/2022 19:11:56
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※ 編輯: poemsing (118.231.146.46 臺灣), 12/14/2022 19:11:56
→ : 幫推一下 認真回的 沒人理QQ1F 12/14 19:29
推 : 長知識了2F 12/14 19:30
推 : 推一個 張知識3F 12/14 19:31
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推 : 專業摩爾定律失效也是因為原子間距離太過接近,已9F 12/14 19:58
→ : 經是量子物理的範疇
→ : 經是量子物理的範疇
推 : 推11F 12/14 20:02
推 : 推 雖然不懂 可是能感受到12F 12/14 20:12
推 : 雖然看不懂 不過看起來很厲害13F 12/14 20:16
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推 : 第四點應該叫MIM22F 12/14 20:49
→ : 新的1P17M都有了
→ : 新的1P17M都有了
推 : 先推 怕被笑看不懂24F 12/14 20:51
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推 : MIM intel 比較強30F 12/14 21:13
推 : 推,並沒有越多層越好這件事31F 12/14 21:20
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推 : MIM、MOM其實都有,但設計概念有點差異33F 12/14 21:25
→ : 這回答 是哪家的RD整合不難猜耶34F 12/14 21:27
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→ : 識了讚讚
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推 : 都看不懂 但覺得好厲害 推推53F 12/14 22:20
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