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作者 rosemary0401 (rosemary)
標題 Re: [新聞] 力拚ASML！佳能開賣晶片製造新設備
時間 Thu Jan  2 22:01:58 2025

※ 引述《xc2v (xc2v)》之銘言：
: 原文標題：
: 力拚ASML！佳能開賣晶片製造新設備
: 〔財經頻道／綜合報導〕日本佳能公司已開始銷售奈米壓印（Nanoimprint lithography
: ）半導體製造系統設備，試圖與業界領導者荷商ASML和日商Nikon競爭，搶佔半導體製造
: 工具市佔率。
: 佳能新型晶片製造機可以使用極紫外微影 （EUV） 生產相當於5奈米規模的電路，EUV由
: 行業領導者ASML主導。佳能在周五（13日）的聲明中表示，預計其設備將透過改進達到下
: 一代 2nm生產。與國內同行Nikon一樣，佳能在EUV競賽中遠遠落後ASML，但其奈米壓印方
: 法可能有助其縮小差距。

一般設備的開發，從樣機到正式量產，需要很長的時間。所以來追一下目前這個奈米壓印
裝置(NIL)的文章，分享一點自己的看法，給大家來批判。

由於半導體設備的特殊性和晶片結構複雜、涉及的製造流程較多，因此在導入晶圓廠的過
程中需不斷驗證軟硬體設計方案的可行性 [6]。大致上有以下流程：

1. 裝機：到工廠內連接水、電、氣的系統，確保機台裝配完成，可以正常啟動
2. 單機可靠性測試：軟體、硬體、機械手臂測試。在不接反應氣體的情況下跑個上千片
   不發任何的警報
3. 工藝測試：根據目標工藝，接上反應氣體，並調整參數，確認可以跑出正確的結果；
   然後，連續跑個上千片，確認機台的穩定性
4. 小批量生產：把該機台導入晶片生產的流程，確保可以跑完整個晶片生產的流程，並
   達到目標良率
5. 大批量產

根據不同的機台，以上步驟可能不盡相同；每個步驟可能都需要花上數個月，所以跑完全
部的步驟可能需花上12到15個月，甚至更久。

半導體設備的開發往往要與客戶緊密的合作，比方說當年ASML開發時，台積電、三星、
Intel就有共同參與研發 [7]；所以佳能的NIL也是一樣，在一開始鎧俠就有參與共同研發

。目前，鎧俠已將其應用到了15nm的NAND快閃記憶體的製造上，並表示到2025年應該可以

應用到5nm的晶片製造上。[1]


除了鎧俠以外，NIL也賣給了TIE
TIE是由德州大學奧斯汀分校支援成立的半導體聯盟，由德州當地政府、半導體企業、國
立研究所等所組成，而TIE將使用NIL微影設備研發、試產先進半導體。


根據日經新聞報導，Canon光學設備事業本部副本部長岩本和德26日受訪表示，「目標在
3-5年內、每年賣出十幾台」[2]。我們可以對照ASML剛推出EUV的前5年，分別賣出了1台
、1台、5台、1台、4台；這表示新型的機台在問世的前幾年，不要期待它可以成為營收的
主力。


在2023年的5月，有朝鮮日報報導[4]，SK海力士引進NIL生產設備，正在進行測試與研發
，目標在2025年用來生產3D NAND快閃記憶體。但也有看到在2023年的6月，DigitalTimes
報導，SK海力士否認2025將NIL用於3D NAND量產。[5]


我個人的猜測NIL也許是達到 3.工藝測試 或 4.小批量生產 的階段，但可能還沒有
辦法在2025年就用於3D NAND的量產。


NIL不是用來取代EUV
NIL的優點是可減少工序以及降低耗電量。但只適合用在結構簡單、且重複性較高的記憶
體製造上面，特別是20nm以下的先進製程，目前的曝光方案成本太高。因此，對於下一
代 3D NAND 記憶體，NIL是非常有競爭力的成本效益選擇[1] 。佳能首先計劃將奈米壓印

推廣到3D NAND市場，然後分階段將應用範圍擴大到DRAM、邏輯半導體等需要更高精細加

工精度的市場。[8]


是否可以銷往中國
目前佳能並沒有對外發表這方面的消息。這可能取決於美中科技戰雙方的博弈。目前網路
上的資訊眾說紛紜，有一種看法是認為，川普會推翻拜登時期所制定的政策，所以NIL可
以銷往中國；但也有另一種看法就是，川普確實會推翻大多數拜登時期所制定的政策，在
科技戰方面，川普會延續拜登政府的政策，所以NIL不能銷往中國。


網上還另一個角度的看法，就要看NIL用到美國技術的比例，從目前取得的資訊來看，NIL
是由佳能、大日本印刷(DNP)、鎧俠共同研發，所以也許不受美國半導體禁令的影響。

Reference
[1] https://www.usmart.hk/en/news-detail/6859068305420976250
NIL 可以滿足廣泛的半導體應用，可與EUV一戰 | uSMART
uSMART Securities , Smart Investment Platform ...

 
[2] https://reurl.cc/V0Wv6n
Canon NIL微影設備首度出貨、可生產2奈米
[圖]
MoneyDJ新聞 2024-09-27 09:50:25 記者 蔡承啟 報導Canon採用「奈米壓印(Nano-imprint Lithography；NIL)」技術的微影設備首度進行出貨、對象為美國半導體聯盟「Texas Institute for Electronics(TIE)」。NIL微影 ...

 
[3] https://news.qq.com/rain/a/20231015A04QAA00
佳能的NIL光刻机能超越ASML的EUV？管它呢，先拥抱泡沫！！！_腾讯新闻
[圖]
上周，又有一个新的话题。某公众号说，光刻机商之一的佳能推出了一款新设备，号称颠覆光刻巨头ASML！一看标题，非常之牛逼，把我都看傻了，千年老三的佳能，怎么突然之间打通任督二脉变成绝世高手，要华山论剑把ASML给干趴下了？内容是这样的：日本佳能宣布推出新型光刻设备：FPA-1200NZ2C纳米压印半导 ...

 
[4]
https://www.chosunonline.com/site/data/html_dir/2023/05/05/2023050580017.html
韓国SKハイニックス、キヤノン製の半導体露光装置を導入…「3D NANDを高度化」-Chosun online 朝鮮日報
[圖]
韓国最大の発行部数を誇る朝鮮日報の日本語ニュースサイト。朝鮮日報の主要記事をはじめ、社会、国際、北朝鮮、政治、経済、スポーツ、芸能など、韓国の幅広いニュースを速報で届けています。 ...

 

[5] https://reurl.cc/74Vvy9
SK Hynix denies using NIL equipment for 3D NAND production in 2025
[圖]
According to South Korea media , citing Korean industry sources, SK Hynix is testing nano imprint lithography (NIL) equipment and conducting R&D assoc ...

 
[6] https://www.sohu.com/a/802682193_120498874
半导体设备导入FAB晶圆厂流程_测试_产品_性能要求
-这个流程比较复杂，石大小生根据经验总结半导体设备的产品研发主要分为概念与可行性研究阶段、产品设计阶段、测试及推广阶段。 样机在厂内（或叫lab）测试的同时，销售已经开始在推广此款设备，待到厂内验证的差不多就可… ...

 
[7] https://www.163.com/dy/article/JJSHFMTH05118O92.html
ASML，今年卖了多少光刻机？|台积电|euv|艾司摩尔|知名企业_网易订阅 ASML，今年卖了多少光刻机？,半导体,台积电,euv,asml,艾司摩尔,知名企业,国产光刻机 ...

 
[8] https://reurl.cc/V0WvXn
佳能半導體奈米壓印技術的真正實力 日經中文網
日經中文網官方網站。日經中文網是日本經濟新聞社的中文財經網站。提供日本、中國、歐美財經金融資訊、商務、企業、高科技報道、評論和專欄。 ...

 
[9] https://biglegsrabbit.blogspot.com/2025/01/nil.html
[日本半導體] 佳能奈米壓印裝置(NIL)的近況

 

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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 113.39.122.17 (日本)
※ 作者: rosemary0401 2025-01-02 22:01:58
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推 truelove356: 華為有在日本找光刻工藝設備相關的人材 懂的就懂1F 01/02 22:07
推 icehorng: 這個佳能 跟台灣佳能不一樣欸 不要誤導2F 01/02 22:08
→ sdbb: 原po之前也有po日本半導體研究報告，好人推3F 01/02 22:10
推 jb0110: 日本佳能跟台股佳能一樣嗎？？4F 01/02 22:19
推 ggbi4zzz: 日本根本沒啥技術，這技術中國拿到就自己生產了吧5F 01/02 22:29
推 roseritter: 有底子的就那幾家 日本N社 C社不可能技轉 那挖人總行6F 01/02 22:35
→ enso: 從德州買了Molecular Imprint , 然後第一套賣回德州。滿滿的美國技術… 大概很快就會被禁。中國要搶要快喔8F 01/02 23:46
推 skizzik0130: 5f在供三小？ㄧ下日本沒啥技術，ㄧ下技術給中國就可以自己生產？ 支那人真的一邊愛嘴人家落後又ㄧ邊偷人家東西！有錢人還去貧民窟偷拿東西喔？笑死！11F 01/02 23:48
推 sd785: 賣給中國？ 鎧俠：麥相害欸14F 01/03 00:08
→ atari77: 5F那個擺明反串在黑中的 誰會認為日本沒啥技術15F 01/03 01:00
→ bkebke: CN有啦 以前台灣面板裝機也賣很多 後來被ASML海放這新聞看起來 應該5nm可能可以用吧16F 01/03 01:07

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