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標題 Re: [爆卦] 中國清大EUV大突破？？！！
時間 Sat Sep 16 19:49:18 2023
作者
標題 Re: [爆卦] 中國清大EUV大突破？？！！
時間 Sat Sep 16 19:49:18 2023
大陸清大那個團隊不是第一個想到這玩法的
這想法很久以前就有人想過
例如國科會底下的未來科技館
https://tinyurl.com/mr7umhef
邁向極限的半導體技術－加速器光源尖端半導體技術應用 - Future Tech Pavilion, FUTEX 邁向極限的半導體技術－加速器光源尖端半導體技術應用 - 1.半導體將邁向3奈米極限，而關鍵瓶頸在於現有的電漿EUV光源功率有限且污染嚴重。目前世界最大的半導體設備商正積極尋求同步加速器光源成為新替代光源，它的特性為完全潔淨且可大幅提升功率超過千瓦。
2.加速器光源具超高亮度、波長可調、光源解析度高之 ...
2.加速器光源具超高亮度、波長可調、光源解析度高之 ...
現有的電漿EUV光源功率有限，加上污染嚴重，是邁向3奈米的主要障礙。加速器光源因為
完全潔淨 ，光源功率透過自由電子雷射機制可大幅提升功率超過千瓦，符合高量產需求
，是世界最大的半導體設備商積極尋求的替代光源。
完全潔淨 ，光源功率透過自由電子雷射機制可大幅提升功率超過千瓦，符合高量產需求
，是世界最大的半導體設備商積極尋求的替代光源。
科學突破性
"1.半導體將邁向3奈米極限，而關鍵瓶頸在於現有的電漿EUV光源功率有限且污染嚴重。
目前世界最大的半導體設備商正積極尋求同步加速器光源成為新替代光源，它的特性為完
全潔淨且可大幅提升功率超過千瓦。
目前世界最大的半導體設備商正積極尋求同步加速器光源成為新替代光源，它的特性為完
全潔淨且可大幅提升功率超過千瓦。
2.加速器光源具超高亮度、波長可調、光源解析度高之特性，透過超低掠角X光繞射等技
術，可精準分析超薄奈米晶
===================================
這是2017年的頁面
這應該是中研院那邊拍的影片(原始影片找不到不知那年拍的)
https://www.bilibili.com/video/BV1pX4y137Td
也是提到加速器未來會用在曝光機上，還有提到和ASML合作
前面那幾篇說用加速器來生產euv是浪費的，去跟中研院和ASML吵一下吼
說你們的研究就是浪費錢
另外這個大陸清大團隊他們的研究還上了nature
https://www.nature.com/articles/s41598-022-07323-z
euv協會組織也有刊出他們的簡報
https://www.euvlitho.com/2020/S52.pdf
他們是借德國的加速器來試驗，後面的照片有出現白人是德國人
從2019試到2021年
這個不知是不是他們未來要蓋的試驗設備
https://i.imgur.com/SF9WbFj.png
![[圖]](https://i4.disp.cc/imgur/SF9WbFj.jpg)
這個SSMB設施應該是確定會蓋了，這是五月的公告，現在應該都動工了
https://i.imgur.com/wzTvP4d.jpg
![[圖]](https://i4.disp.cc/imgur/wzTvP4d.jpg)
結論就是大陸在雄安新區蓋的應該還是試驗設施，為下一代的EUV設備進行鋪路
半導體生產不是你曝光機造出來就行了，你後段工藝也要一起跟著配合
ASML的EUV設備功率是250~300W，這個有1KW以上功率，光阻液就不可能沿用
當年ASML開發EUV設備不是只有他一家下去做，還找了上下游設備廠一起做整個工藝流程
大陸這東西要出工程樣機至少五年以上
不過這東西造出來會很可怕，因為他們光源線寬可以覆蓋1~100nm
等於這設備可以一次把現在duv和euv設備的曝光環節所需精度都包含在內了
只是全都用euv來曝光就是了
另外，過去大陸有關半導體設備的影片，隨便亂吹的都不會管，但只要你說到點就會被砍
大陸自媒體現在瘋狂做ssmb的影片，很有可能不是大陸現階段主要技術方向
例如下面這個是華中科大的技術方案(大陸提出相關euv技術方案有很多)
https://i.imgur.com/dWzOk8K.png
![[圖]](https://i4.disp.cc/imgur/dWzOk8K.jpg)
另外我追的一個消息來源2月就講了這件事
https://i.imgur.com/2VjjOYH.png
![[圖]](https://i4.disp.cc/imgur/2VjjOYH.jpg)
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 118.166.200.32 (臺灣)
※ 作者: a1e 2023-09-16 19:49:18
※ 文章代碼(AID): #1b1PP4Tu (Gossiping)
※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Gossiping/M.1694864964.A.778.html
※ 同主題文章:
09-16 12:07
09-16 12:21
09-16 13:38
09-16 14:11
09-16 14:54
09-16 16:23
Re: [爆卦] 中國清大EUV大突破？？！！
09-16 19:49
推 : 他們想做，遲早會做出來1F 118.161.116.112 台灣 09/16 19:51
推 : 就成本稍微高一點點都應該可以的2F 61.224.66.192 台灣 09/16 19:52
推 : 專業3F 27.51.42.77 台灣 09/16 19:52
→ : 想當年IBM也很多腦洞的4F 61.224.66.192 台灣 09/16 19:52
→ : 當年兩彈一星 沒錢沒資源都做出來5F 118.161.116.112 台灣 09/16 19:52
推 : 原來如此
原子彈不是有蘇聯幫忙嗎？6F 39.12.25.236 台灣 09/16 19:53
原子彈，蘇聯只給一半，後面蘇聯專家撤走，是大陸這邊的人接手繼續研究原子彈不是有蘇聯幫忙嗎？6F 39.12.25.236 台灣 09/16 19:53
推 : euv手刻樣機？8F 223.137.138.1 台灣 09/16 19:53
→ : 這裡一堆鍵盤專家，都比ASML執行長還行，笨洋人說「孤立中國沒有作用 中國很多聰明人會自己研究」9F 114.39.132.193 台灣 09/16 19:54
推 : 蘇聯掐脖子，重要的不給。後來是錢學森，也被美國軟禁5年12F 27.51.42.77 台灣 09/16 19:54
※ 編輯: a1e (118.166.200.32 臺灣), 09/16/2023 19:55:30推 : 中國遲早會突破西方人的技術封鎖14F 118.161.116.112 台灣 09/16 19:54
推 : ㄜ 其實臺灣人也是西方人唷照樓上講法15F 27.242.193.128 台灣 09/16 19:57
推 : 學店4x表示 我看完了，還好而已16F 27.52.37.208 台灣 09/16 19:57
→ : 基本上預計商轉蠻多人講10年沒問題拉但是10年後asml的技術是啥...我不知17F 61.224.66.192 台灣 09/16 19:57
推 : 我預測 5年內 中國會有可商用的EUV出來19F 118.161.116.112 台灣 09/16 19:58
→ : 同樣的...我也不知道老共要不要硬幹?20F 61.224.66.192 台灣 09/16 19:58
→ : 10年內 GG製程技術 被中國超車21F 118.161.116.112 台灣 09/16 19:59
→ : 10年後現在的GG技術會被老共打敗沒問題阿XDD22F 61.224.66.192 台灣 09/16 20:00
→ : 那時GG股價剩幾十元24F 118.161.116.112 台灣 09/16 20:01
→ : 如果用這麼浩大的成本的話XDD25F 61.224.66.192 台灣 09/16 20:01
推 : 安安 你突破人家是因為人家已突破自己26F 106.105.82.212 台灣 09/16 20:01
推 : 我覺得中國幹這種的都是愛國情懷居多要錢的都到美國矽谷去了27F 27.51.42.77 台灣 09/16 20:02
→ : 10年太樂觀了 中國自己說50年 平均30年吧29F 1.164.106.141 台灣 09/16 20:03
推 : 人，錢，愛國情懷，大陸一樣不缺就怕美30F 180.217.15.5 台灣 09/16 20:03
推 : 用10年比較正常拉...因為這種腦洞大31F 61.224.66.192 台灣 09/16 20:03
→ : 百年內一定做出來32F 39.12.24.92 台灣 09/16 20:03
→ : 成本超高的 真的可以硬拚的 我好像在哪個30年前的美國文章看過33F 61.224.66.192 台灣 09/16 20:04
→ : 中國經濟有限 不要想成無限...那會誤判35F 1.164.106.141 台灣 09/16 20:05
→ : 就是有限 才希望老共硬拚阿....36F 61.224.66.192 台灣 09/16 20:05
→ : 這是自由電子(SR FEL), 不是穩態微聚束(SMMB)37F 111.240.202.206 台灣 09/16 20:10
→ : 講中國10年內超車的應該是知道偷竊技術的計畫和內幕了，不然不可能這麼有把握39F 218.173.152.67 台灣 09/16 20:12
推 : 設備要講究幾年可以攤平 這台要幾年攤平41F 39.9.103.179 台灣 09/16 20:14
推 : 功率高不代表PR不能沿用，要有高解析的EUV PR才是重點42F 220.141.103.109 台灣 09/16 20:14
推 : 沒事兒 一切都是幻覺44F 49.216.83.195 台灣 09/16 20:17
推 : 蘇聯是被太空競賽拖垮 現在輪到中國了45F 61.61.93.236 台灣 09/16 20:18
→ : 清華早就想搞自己的大型加速器 借大煉晶46F 124.234.88.55 中國 09/16 20:22
推 : 美國忽悠中國做電磁砲跟核聚變要拖垮47F 27.51.42.77 台灣 09/16 20:23
→ : 圓騙經費而已 方案毫無實用性48F 124.234.88.55 中國 09/16 20:23
推 : 講的好像gg現在開始每天睡覺一樣49F 36.224.124.252 台灣 09/16 20:23
→ : 中國，複製太空競賽。結果中國真的做出來了50F 27.51.42.77 台灣 09/16 20:24
推 : 一萬年一定做得出來 嘻嘻52F 101.137.108.148 台灣 09/16 20:24
推 : 這次阿拉伯國家（沒記哪國），用中國激光武器全殲無人機53F 27.51.42.77 台灣 09/16 20:26
→ : 笑死 中國被美國忽悠去弄頁岩油氣都忘了嗎55F 223.137.182.99 台灣 09/16 20:30
推 : 你說的都對 所以ASML跟台灣的研究去哪了56F 111.243.69.38 台灣 09/16 20:34
推 : 看八卦版推文一堆吹捧 還以為在看微博57F 150.116.186.44 台灣 09/16 20:35
推 : 哈笑死，看你在吹，46億年前就有的東西
太陽啊，超大光源，什麼波長都有58F 36.236.229.167 台灣 09/16 20:47
太陽啊，超大光源，什麼波長都有58F 36.236.229.167 台灣 09/16 20:47
推 : 給推 有料60F 114.44.217.222 台灣 09/16 20:48
→ : 1-100nm光源是沒有工程效益的 你個波長開發一隻光阻給他用 神經病 全部用1nm光源照啦
最小的那個resolution可以畫大不能畫小
說覆蓋1-100nm光源都能拿來用 實際上就是浪費99%能量在2-100nm然後只會拿1nm光源去用
中國要是真的針對1-100nm開發10隻光阻10套光學元件鍍膜抗吸收分別在十個區段 讚喔 多少錢61F 59.115.131.69 台灣 09/16 20:52
最小的那個resolution可以畫大不能畫小
說覆蓋1-100nm光源都能拿來用 實際上就是浪費99%能量在2-100nm然後只會拿1nm光源去用
中國要是真的針對1-100nm開發10隻光阻10套光學元件鍍膜抗吸收分別在十個區段 讚喔 多少錢61F 59.115.131.69 台灣 09/16 20:52
推 : 傻子才會認為中國講的能信…笑死68F 27.242.60.187 台灣 09/16 20:56
→ : 然後那個100nm那裏沒廠商要用 因為沒比較便宜69F 59.115.131.69 台灣 09/16 20:57
→ : 算了吧，講再厲害充其量只是個燈泡70F 36.236.229.167 台灣 09/16 20:57
→ : GG股價幾十元？那你期待你家習主子掛掉還71F 27.242.60.187 台灣 09/16 20:57
→ : 這十套開發出來的成本是一樣(差不多)的72F 59.115.131.69 台灣 09/16 20:57
→ : 比較快73F 27.242.60.187 台灣 09/16 20:57
→ : 在100nm那個區段的商業成品價格回收不了74F 59.115.131.69 台灣 09/16 20:58
推 : 一直在那手刻的是多北七阿，這是很75F 101.9.50.153 台灣 09/16 20:58
→ : 怎麼把光投影成像才沒那麼簡單76F 36.236.229.167 台灣 09/16 20:58
→ : 嚴重的問題77F 101.9.50.153 台灣 09/16 20:58
推 : 中國的體制 註定只能山寨 自己走的路都是失敗78F 180.177.2.167 台灣 09/16 21:20
推 : 台積電設廠調教EUV跟機台差不多要一年時間79F 36.227.71.206 台灣 09/16 21:20
→ : 的。不過山寨方面很強，還是得看制裁的力度80F 180.177.2.167 台灣 09/16 21:20
→ : 這個大小要調教機台 可能百年吧81F 36.227.71.206 台灣 09/16 21:21
推 : 嘻嘻，某些井蛙真的是不探頭的蛙82F 42.73.49.78 台灣 09/16 21:30
噓 : 五毛全聚集在這篇了，笑死83F 36.228.168.137 台灣 09/16 21:41
→ : 別人換一個鏡頭你要動一個城市84F 220.132.56.3 台灣 09/16 21:52
推 : WPH會多少？85F 153.246.172.94 日本 09/16 21:57
→ : 感覺很多人搞不清楚狀況 美國的目的只是要拖慢中國的發展 讓他把資源放在這個永遠追不上項目上 基本上只要5年內原地踏步中國就輸了10年後做出EUV也是沒有用的 感覺很多人以為只要中國能做出來就贏了 老實說這盤棋是中國一定輸但又必須砸大錢發展 慘...
就跟冷戰跟蘇聯拚太空一樣的意思 你不拚是輸拚了輸更慘86F 36.224.144.139 台灣 09/16 22:05
就跟冷戰跟蘇聯拚太空一樣的意思 你不拚是輸拚了輸更慘86F 36.224.144.139 台灣 09/16 22:05
推 : 就看現在ASML那套EUV什麼時候會踫到極限94F 1.172.225.160 台灣 09/16 22:10
→ : 下一代EU剛出來V
下一代EUV剛出來96F 36.227.71.206 台灣 09/16 22:14
下一代EUV剛出來96F 36.227.71.206 台灣 09/16 22:14
推 : 五年內中國能做出商用的EUV？笑死
天真的以為那個是泡麵就對了..
10年內台積電被中國超車？講的好像台積電都不會發展就對了….
要是真的那麼好超車，老美就不會千方百計的想要台積電的核心技術了….更別提中國連老美的技術一半都不到98F 27.242.60.187 台灣 09/16 22:18
天真的以為那個是泡麵就對了..
10年內台積電被中國超車？講的好像台積電都不會發展就對了….
要是真的那麼好超車，老美就不會千方百計的想要台積電的核心技術了….更別提中國連老美的技術一半都不到98F 27.242.60.187 台灣 09/16 22:18
推 : 樂見競爭105F 118.232.101.88 台灣 09/16 22:22
推 : 中國用全國的力量去發展這個真的很蠢 能夠做出來 只能拿來吹爽爽而已 不能真的商業用 沒有辦法商用 最後就是被這個拖垮 資本主義厲害的地方就是能夠靠市場自給自足發展106F 98.207.18.41 美國 09/16 22:31
→ : 雖然解像力和光源波長有正相關 但一直講得好像有幾nm波長光源就有幾nm產品感覺很怪而且每種不同nm光源波長 對ProjectionLens來講應該都要重新設計 還不如固定光源波長111F 61.227.113.145 台灣 09/16 22:47
推 : 小粉紅會說有100種波長可以建100台euv115F 42.72.97.230 台灣 09/16 22:50
→ : 設計一根就好 不然2、30片lens組起來的東116F 61.227.113.145 台灣 09/16 22:51
→ : 從1奈米到100奈米都有 嚇死你117F 42.72.97.230 台灣 09/16 22:51
→ : 西 加上coating 弄多真的只是在搞自己而已118F 61.227.113.145 台灣 09/16 22:52
推 : 以台灣這種落後的工業人才培訓，被超車也不是啥奇怪的事，讓台積電保持領先的是民國三年級、四年級那一代，不是七年級，更不是鳥到不行的八年級119F 174.243.183.60 美國 09/16 22:54
推 : 又贏了123F 118.168.73.245 台灣 09/16 22:56
推 : ASML的EUV是結合各國的頂尖技術整合而成我是不信中國能獨自單幹EUV裡面的零件中國連個引擎都搞不定
不然先搞個跟蔡司同等級的鏡頭出來看看124F 49.158.129.37 台灣 09/16 23:01
不然先搞個跟蔡司同等級的鏡頭出來看看124F 49.158.129.37 台灣 09/16 23:01
→ : 讓台積領先跟停滯的是同世代的人
年輕人在GG只是耗材128F 42.72.237.236 台灣 09/16 23:02
年輕人在GG只是耗材128F 42.72.237.236 台灣 09/16 23:02
→ : 那台大走路人也是廢物嗎 我看你也是七年級的吧130F 145.14.135.172 美國 09/16 23:09
推 : 另外ASML的曝光機 都搶先在台積最新製程出來前就研發完成 你現在拼老命做EUV
等你搞定 ASML新一代的也差不多出來了美國主要也是想維持這種科技代差的情況132F 49.158.129.37 台灣 09/16 23:11
等你搞定 ASML新一代的也差不多出來了美國主要也是想維持這種科技代差的情況132F 49.158.129.37 台灣 09/16 23:11
推 : 老實說中共真的能做出來你會意外嗎 對岸人才多又一堆留學歐美的 就算抄也絕對抄的出來
中共什麼都沒有就錢最多 他想挖世界各國頂尖人才也絕不是問題好嗎136F 118.166.200.165 台灣 09/16 23:13
中共什麼都沒有就錢最多 他想挖世界各國頂尖人才也絕不是問題好嗎136F 118.166.200.165 台灣 09/16 23:13
→ : 用抄的本來就比自己挑戰新的容易
沒有自己挑戰極限的能力，永遠落後一段141F 223.140.221.4 台灣 09/16 23:30
沒有自己挑戰極限的能力，永遠落後一段141F 223.140.221.4 台灣 09/16 23:30
推 : 八卦都是IEEE fellow 塔綠等級的143F 111.82.62.147 台灣 09/16 23:38
推 : 一推沒碰過曝光機的人都講得很厲害小弟有幸碰過 發現一堆人都在鬼扯144F 118.168.83.165 台灣 09/16 23:54
→ : 要是光靠抄襲就能抄出來，當初大撒幣階段就不會連個屁都沒有了…笑死！一頓五毛好傻好天真146F 27.242.60.187 台灣 09/17 00:06
→ : 生命會找到出路的，越限制發展就越大149F 39.9.35.118 台灣 09/17 00:54
噓 : 5G打不贏就制裁 誰才是世界流氓還不清楚150F 114.27.3.175 台灣 09/17 01:08
推 : 就算造出來 還有很多需要造 都是錢151F 180.177.226.206 台灣 09/17 01:44
→ : 直接用同步輻射 x光 屌打紫外光152F 107.199.88.35 美國 09/17 02:38
噓 : 學術和商用搞清楚153F 1.165.93.169 台灣 09/17 04:25
噓 : 中國聰明人優先做的第一件事是移民 傻逼才會待在那種地方154F 101.9.96.122 台灣 09/17 07:32
推 : 中國被美國忽悠 但中國都把他做出來了156F 36.234.221.105 台灣 09/17 08:43
→ : 怎麼有五毛在高潮吹捧啊 好好笑157F 123.205.125.168 台灣 09/17 09:04
推 : 還要用分光器分出需要的光源 考量到大部分光都被浪費 成本不實際
再來成相用的光阻才是大問題158F 1.165.1.112 台灣 09/17 12:19
再來成相用的光阻才是大問題158F 1.165.1.112 台灣 09/17 12:19
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