作者 analiya (莉雅)標題 Re: [爆卦] 中國清大EUV大突破？？！！時間 Sat Sep 16 14:11:00 2023
自媒體誇大了，但也不是完全沒有那麽回事。
分享下。
1、中國的光刻機研製，現在是duv、euv同時在弄。duv肯定是傳統路綫，應該差不多了。而
euv是不同的3、4種技術路綫在同時弄，每條路綫都有不同的科研院所負責。
中科院長春光研所負責asml的那種euv。
2、光學、精細化工之類的，其實中國自身并不差。主要以前沒有不計成本也要弄出來的動
機，弄出來了也沒人會用。但現在因爲美國制裁，中國的半導體產業的市場完全被美國主動
讓出來了，那造出來自然就有意義，能夠迭代。
現在看，光源、光刻膠之類的都已經有中國企業弄出來了，還在最後的總裝過程中。
3、至於這個清華的版本，是腦洞最大的一個，現在已經進行實際預研建設了。
簡單説就是放棄小型化、集約化，從而換取技術上難度的下降。
asml的光刻機，在一個集裝箱中，有光源、有各種光學鏡片、有各種防氣體污染的管路。之
所以這個技術路綫，一是因爲asml的技術路徑依賴，二是因爲光刻機是商品，必須滿足遠洋
運輸、後期調試的需求。
清華的版本，是儅基礎設施弄，光源不在内置，而是如發電廠集中供電、中央鍋爐集中供熱
水一樣，用同步輻射光源做發光厰集中供應光。
因爲同步輻射光源的特性，功率可以做到asml的euv的幾十倍，而且是廣譜光。通過電磁場
的不斷偏轉，不同波長的光會從不同的接口被篩選出來，也就是理論上從1nm到100nm的光源
同時供應。
根據功率、光源波長等，一個光源厰能同時供應幾十個光刻厰，效率和電能利用率會很高，
哪怕單個厰的良率沒那麽高，成本也能平攤下來。
另外因爲沒有空間限制，可以省掉各种复杂的光路和精度极高的镜片组，直接来上千W的8nm
波长。
EUV的三大难点：光源、物镜和工作台，直接跳过前俩，只要保证双工作台的精度就行。
以前其實就有這種路綫，但因爲占地大、成本高、同時用電大三個問題，并不是asml這種企
業的選擇項。
但對於中國，這些缺點并不是問題，只要能造出來就可以。
占地大，中國就是地多，也不需要儅商品運輸，而且輻射光源有其他用處，可以一魚多吃。
成本高，對於現在一臺幾臺幾億美金來説，其實也不高了，而且可以同時大量起光刻厰，
中國佔半導體產業50%的需求量，只要能造出來就有市場。
用電大，中國自己發電就占全世界的30%，而且内蒙、貴州這些地方電多到用不出去。綜合
去算幾十個光刻厰同時運作，其實能耗和asml的光刻機差不多了。
只不過，現在是理論上很完美，也是中國諸多技術中的一種。但實際工程化卻不一定能很快
弄出來。現在最快的的還是傳統路綫。
但asml總裁之前説中國有很多聰明人，能想出不一樣的路綫，也是意有所指。
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※ 作者: analiya 2023-09-16 14:11:00
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※ 同主題文章:
Re: [爆卦] 中國清大EUV大突破？？！！
09-16 14:11 analiya
噓 WindSucker: 中或贏1F 223.137.150.126 台灣 09/16 14:13
→ railman: 傳統路線是手刻嗎？2F 223.137.138.1 台灣 09/16 14:13
→ potionx: 先把公務員的欠薪補上再說吧 哀3F 1.164.106.141 台灣 09/16 14:13
→ thepowers: 八成對岸粉紅洗地，內文有簡體呢4F 114.26.28.211 台灣 09/16 14:13
→ andytaso: 並 不過搞久了應該還4能搞些皮毛出來5F 36.226.7.190 台灣 09/16 14:14
推 democrat: 大躍進時代的土法煉鋼7F 114.137.97.38 台灣 09/16 14:16
推 squelch: 美國看到又要各種制裁了8F 1.200.37.11 台灣 09/16 14:17
推 Marcin: 中國彎道超車9F 123.252.23.120 台灣 09/16 14:17
推 BaGaJohn5566: 荷蘭肯定之後會跪下來求中國10F 42.79.154.254 台灣 09/16 14:17
推 arm370x: 光學精細化工之類的，其實中國並不差??11F 123.193.177.172 台灣 09/16 14:18
是的。
比如，很多非綫性光學晶體啊，光學衛星之類的，中國的技術應該是只差過美國。而整體光
學，也只差過美日德。差距沒有那麽大。
而之前韓國被日本斷供光刻膠和各種精細化工產品，替代品就是中國的光刻膠和其他經濟化
工產品。
中國的光刻膠，可能純度還沒有日本高，但也是能用。7nm、5nm應該沒問題。但再往上可能
就會受純度影響了。
只要開始工程化、產業化使用，迭代升級的速度遠比鄉民想得要快。
推 kazami: 中國雙贏12F 1.164.89.162 台灣 09/16 14:18
噓 beviswu: 看到「光刻」兩字先噓再說13F 111.82.207.139 台灣 09/16 14:18
→ arm370x: 主要是德國日本人有送禮包吧 尤其德國14F 123.193.177.172 台灣 09/16 14:19
推 s213092921: 中國聰明人多，工業基礎設施電力也發達15F 220.138.152.44 台灣 09/16 14:19
→ arm370x: 真的歐洲裡最挺中國的 整艘船不收錢的17F 123.193.177.172 台灣 09/16 14:19
噓 zz71: 這篇我存檔了 不意外3年後樓上某些ID還在吹中國遙遙領先18F 101.137.78.122 台灣 09/16 14:20
→ arm370x: 要不要先查一下再來秤中國還有多少斤兩20F 123.193.177.172 台灣 09/16 14:20
→ alway70345: 中國贏21F 223.138.168.200 台灣 09/16 14:21
推 ballby: 用不同的方式，達到一樣的效果22F 42.79.217.17 台灣 09/16 14:24
※ 編輯: analiya (111.162.145.209 中國), 09/16/2023 14:24:47
推 s213092921: 幾年前也是一堆人說華為完蛋了，現在？23F 223.139.201.105 台灣 09/16 14:25
→ cmc563: 中國真勵害,可以不計成本,遙遙領先25F 101.0.238.125 台灣 09/16 14:25
→ amos30627: 最後會發現光刻廠卡脖子技術沒比較少26F 61.71.129.94 台灣 09/16 14:26
→ bearq258: 1-10nm波長就定義在x光27F 223.138.104.173 台灣 09/16 14:26
→ amos30627: 德國人是真的輸不少血給中國28F 61.71.129.94 台灣 09/16 14:26
→ MKIIjack: 好的 請空襲美航母30F 175.182.182.187 台灣 09/16 14:28
噓 blue999: 好啦 中或贏 中國no1 中國no131F 61.231.223.93 台灣 09/16 14:28
推 yoshilin: 一堆酸民是沒看過龜兔賽跑的故事嗎？
大烏龜雖然慢，但是一步可以跨1km，小兔子要跳多久32F 101.136.169.12 台灣 09/16 14:32
→ potionx: 原來中國是烏龜 那烏龜的頭肯定是習近平35F 1.164.106.141 台灣 09/16 14:35
推 amy93: 專業文36F 82.66.153.28 法國 09/16 14:42
→ lain2002 …
→ lain2002: 中國又贏了37F 36.236.104.145 台灣 09/16 14:46
推 lanslore: 謝謝分享41F 101.10.108.97 台灣 09/16 14:48
→ hermanwing …
→ hermanwing: 這次中國人無比團結用國貨42F 27.51.42.77 台灣 09/16 14:48
推 sparking: 好文推43F 114.137.212.72 台灣 09/16 14:50
推 k1k1832002: 其實就封鎖了,以前高成本選項現在怎樣也得用,但如果打出新路徑,只能說那沒辦法,美國搞得44F 36.237.181.210 台灣 09/16 14:56
→ tenka92417: 只要阿共弄得出可以用的設備零件跟維修能力，就不需要用西方最先進的設備47F 114.44.17.164 台灣 09/16 15:02
推 bbalabababa: 中企都是國家不演直接輸血的
最近歐盟已經開始注意電動車了49F 118.160.66.12 台灣 09/16 15:05
→ wiie: 這做法讓我聯想到幾年前的組合屋模式
量化到一定程度攤低成本,就能夠開始外銷52F 59.125.225.55 台灣 09/16 15:09
推 ilovebig99: 看來真的會做起來耶，光的問題克服只是時間的問題54F 42.77.35.79 台灣 09/16 15:11
→ loko: 這不是聰明人多不多的問題 是技術力差距的問題 這文章根本亂寫一通 也可以來這洗地...56F 36.224.144.139 台灣 09/16 15:12
噓 gigongwen: 喇低賽哀低也有人推 沒救了58F 24.19.5.120 美國 09/16 15:20
噓 suge: 這篇不就全民大煉鋼嗎59F 42.75.28.165 台灣 09/16 15:21
→ deangogi: 非線性哪有比美國差60F 61.228.174.65 台灣 09/16 15:25
→ Jetame: 當八卦是微博？ 還真的是61F 118.169.104.223 台灣 09/16 15:28
噓 k0122k: 根本北七62F 24.4.155.131 美國 09/16 15:29
推 anylu: 華為不是手刻9000s出來了，接下來
手刻3奈米不意外。63F 27.51.81.223 台灣 09/16 15:36
推 firecrest: 中又贏65F 1.175.71.187 台灣 09/16 15:40
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